第五百八十九章：自主(第2页)

 利用激光等离子体产生极紫外光源，将强激光脉冲投射到液态锡滴上。

 激光会粉碎液态锡滴，在撞击过程中产生极紫外脉冲光，并在经过复杂的滤波和聚焦后，产生功率约250瓦的极紫外光源。

 而在到达芯片之前，这极紫外光束要经过11个镜子的反射，每个镜子都会损失30%的能量，因此光束到达晶圆时的功率小于五瓦。

 虽然现在看这个光源制造十纳米制程的芯片，可以说是手到擒来，只要技术规格和设备精度达到了，很快就能够制造出来。

 但是这种光源在制造五纳米以下的3纳米、4纳米的芯片时，就会成为一个老大难的问题，因为能量不够集中，不够精密。

 当然，现在台积电和高丽韩星电子的半导体芯片制程都已经变成了他们两家公司自己设定的规格，而非真正意义上的物理规格制程，所以我估计这一天会来得比较晚，至少十年之内不会有光源问题。

 但这也只是比较晚，而并非彻底解决了问题。”

 说到这里，周瑜的话语顿了顿。

 “但稳态微聚束技术避免了这个问题。稳态微聚束光束实现了一千瓦的更高输出功率，加上它带宽较窄，需要更少的反射镜，因此可以产生更高的终端功率。

 我们现在正设计一个功率高于一千瓦稳态微聚束极紫外光源，只要等咱们这边的电子对撞试验场地和设备建成，还有一些关键技术成熟，或许设计的蓝图，将会很快成为现实中的设备。”

 听到周瑜的“画饼”，邹王振教授和他身旁的三位博士生都有些心向往之。

 而且除了画饼之外，周瑜还带着邹王振教授一行人参观了一些不算技术核心的数据和模型推导成果，展示了新科半导体光学团队为将稳态微聚束技术进行落地实践和技术成果未来转化，所做的努力。

 当然，除此之外，周瑜也对邹王振教授一行人直言：“咱们大夏联邦的光刻机自主研发之路，还有很长的路要走。